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簡(jiǎn)要描述:PDF資料,SMC大流量型3通電磁閥V114A-5LOUB CXSM15-10、CXSM15-20、CXSM15-30、CXSM15-40、CXSM15-50、CXSM15-60、CXSM15-70、CXSM15-75、CXSM15-80、CXSM15-90、CXSM15-100、CXSM20-10、CXSM20-15、CXSM20-20、CXSM20-25、CXSM20-30、CXSM20-4
詳細介紹
PDF資料,SMC大流量型3通電磁閥V114A-5LOUB
產(chǎn)品特點(diǎn):
【無(wú)需真空破壞閥】
通過(guò)無(wú)正壓的真空脫離,無(wú)需采取措施防止小芯片被吹走。
無(wú)需繁瑣地調整破壞壓力、流量及定時(shí)。
不使用真空破壞閥,實(shí)現了精簡(jiǎn)化。
【占用空間小化】
與以往的帶破壞單元相比,安裝面積減少44%,重量減少53%,適用于制造裝置的小型化。
即使在小空間也可安裝,裝置設計的自由度更高。
通過(guò)輕量化,便于安裝在裝置可動(dòng)部。
【可配備壓力傳感器】
單元中配備真空用壓力傳感器,外形更小巧。
負壓檢測也實(shí)現省空間。
采用U形卡銷(xiāo)固定壓力傳感器,提高可維護性。
【可安裝真空用過(guò)濾器】
配管過(guò)程中無(wú)需安裝過(guò)濾器。
真空用過(guò)濾器采用快插式更換。
主閥中沒(méi)有滑動(dòng)密封圈,因此可禁油處理(特注品)。不向外部排氣。
高速下響應穩定。
真空可使用。
對應0603芯片 。
響應速度:13msec (500mm 時(shí)※)/18.5msec (1000mm 時(shí)※)
無(wú)需調即可使工件平穩脫落。
不需要調整真空?正壓切換時(shí)間。
不需要破壞空氣的節流回路。
低功率型 (2W DC 低功率型)
壓力從0MPa起可以使用。
可混合安裝VK300。
直動(dòng)式電磁閥。
主閥結構為間隙密封方式。
壓力從0MPa起可以使用。
可供給不同壓力。
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